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六自由dupingtai简介

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3、重要de稳定性:SURES六自由du精密定位控制蟙i砫egao刚性quebao了很大de稳定性并且bao证了长qide定位质量!刚性:34N/um XY轴  刚性:350N/umZ轴 ,gao刚性初次频率da到140Hz.交叉耦合hesheng干rao非changdi,当Z轴10mmna聚焦,中心倾斜小于1弧秒。
 
4、行程范围,you效fu载:SURES六自由du精密定位控制蟙i骋运黡e线行程15mmhefu载是500KGxuan转1.5°著称!
 
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